主动磁场控制系统AMC-330
电车、汽车、电梯等磁性体的通过或电源等原因引起的磁场变动会对显微镜等电子束应用装置等产生不利影响。AMC-330主动磁场控制系统能通过高感度磁场传感器和数字控制器测出任意方向的磁场变动,并用霍尔摩兹线圈产生逆相位的磁场来抑制磁场的变动。
AMC-330的特点
高性能(最大40-60dB的超越的减衰性能)
低成本(与磁屏蔽器相比,成本降至1/10)
简单施工(只须在装置周围固定线圈即可)
AMC-330的用途
扫描型电子显微镜 (SEM)
透过型电子显微镜(TEM)
聚焦离子束(FIB)
质量分析装置(MASS)
电子束描画装置(EBL)
掩膜检查装置
AMC-330的系统构成
①发生磁场用线圈 ②磁场传感器 ③控制器(DJ-155) ④功放器(LD-155)
AMC-330的型号
型号
主要构成部分
控制器、功放器、磁场传感器、控制软件、发生磁场用线圈
特点
X、Y、Z 3轴同时控制,带有自动调整性能
控制范围
±3μT(可设定)
控制频率
直流电~1KHz
减衰率
最大40-60dB
控制方式
直流电代表值控制+各轴独立反馈控制
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