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主动磁场控制系统AMC-330

 
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    电车、汽车、电梯等磁性体的通过或电源等原因引起的磁场变动会对显微镜等电子束应用装置等产生不利影响。AMC-330主动磁场控制系统能通过高感度磁场传感器和数字控制器测出任意方向的磁场变动,并用霍尔摩兹线圈产生逆相位的磁场来抑制磁场的变动。

AMC-330的特点

  • 高性能(最大40-60dB的超越的减衰性能)

  • 低成本(与磁屏蔽器相比,成本降至1/10)

  • 简单施工(只须在装置周围固定线圈即可)

 

AMC-330的用途

  • 扫描型电子显微镜 (SEM)

  • 透过型电子显微镜(TEM)

  • 聚焦离子束(FIB)

  • 质量分析装置(MASS)

  • 电子束描画装置(EBL)

  • 掩膜检查装置

 

AMC-330的系统构成

①发生磁场用线圈 ②磁场传感器 ③控制器(DJ-155) ④功放器(LD-155)

 

AMC-330的型号

型号

AMC-330

主要构成部分

控制器功放器磁场传感器控制软件发生磁场用线圈

特点

XYZ 3轴同时控制,带有自动调整性能

控制范围

±3μT(可设定)

控制频率

直流电1KHz

减衰率

最大40-60dB

控制方式

直流电代表值控制各轴独立反馈控制

 
 
 

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